Los controladores de flujo másico térmicos no miden el caudal en sí, sino la capacidad calorífica del gas que pasa. Si se usa un gas distinto al de calibración, el MFC indica mal; la Calculadora de factores de conversión MFC lo corrige con los factores de corrección de gas (GCF).
El principio
Q(real) = Q(indicación) × GCF(gas de proceso) ÷ GCF(gas de calibración): el GCF describe cuánto influye un gas en el principio de medición térmico en comparación con el nitrógeno. Los gases monoatómicos como el argón (GCF ≈ 1,39) y el helio (≈ 1,45) están muy por encima de 1; los poliatómicos como el CO₂ (≈ 0,70) o el SF₆ (≈ 0,26), muy por debajo.
Paso a paso
- Elegir el gas de calibración: normalmente N₂; figura en la placa del MFC
- Elegir el gas de proceso: el gas que realmente fluye (14 gases incluidos)
- Fijar la dirección: «¿qué fluye realmente?» (indicación → real) o «¿qué debo ajustar?» (objetivo → consigna)
- Introducir el valor y leer: la calculadora entrega el factor y el caudal corregido
Ejemplo
MFC calibrado con N₂, gas de proceso argón, indicación 100 sccm: en realidad fluyen 100 × 1,39 = 139 sccm de argón. A la inversa: si deben fluir exactamente 100 sccm de argón, se ajustan 100 ÷ 1,39 ≈ 72 sccm. Quien olvida la corrección dosifica con argón casi un 40 % de más o de menos, un error caro con gases de proceso en recubrimientos o fabricación de semiconductores.
Límites de los factores
Los valores GCF son orientativos y difieren entre fabricantes de MFC en algunos puntos porcentuales, porque influyen el principio de medición y la construcción del sensor; además, en rigor solo valen en el rango lineal del equipo. Para procesos con tolerancias estrechas no hay alternativa a dos cosas: usar la tabla de factores del fabricante correspondiente, o directamente calibrar el MFC con el gas de proceso. Para conversiones, equipos de repuesto y comprobaciones de plausibilidad, el cálculo GCF es la herramienta estándar.
