Corrección de gas para controladores de flujo másico térmicos: calcule el flujo real o la consigna necesaria con el factor de conversión (GCF) para 14 gases.
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Por qué un MFC calibrado con N₂ marca mal con argón
Los controladores de flujo másico térmicos miden el transporte de calor del gas – que depende de la capacidad calorífica y la densidad. Un MFC calibrado con nitrógeno que regula argón marca sistemáticamente mal. La corrección: Q(real) = Q(lectura) × GCF(gas de proceso) / GCF(gas de calibración).
Ejemplo: equipo de sputtering
Un MFC calibrado con N₂ está a 100 sccm pero fluye argón (GCF 1,39). Flujo real: 100 × 1,39 = 139 sccm de argón – ¡casi un 40 % más de lo indicado! A la inversa: para exactamente 100 sccm de argón, la consigna debe ser 100 / 1,39 = 72 sccm.
Factores principales (relativos a N₂)
Gases monoatómicos altos: argón 1,39, helio 1,45. Diatómicos cerca de 1: O₂ 0,993, CO 1,00, H₂ 1,01. Poliatómicos muy por debajo: CO₂ 0,70, CH₄ 0,72 – y moléculas pesadas como SF₆ (0,26) al fondo.
Límites
Los GCF son aproximaciones del rango lineal y varían ligeramente entre fabricantes. Para procesos exigentes: use la tabla del fabricante o calibre el MFC con el gas de proceso.
