Korekta gazu dla termicznych regulatorów przepływu masowego: oblicz rzeczywisty przepływ lub wymaganą nastawę ze współczynnika konwersji (GCF) dla 14 gazów.
Wypełnij poniższe pola i kliknij "Oblicz".
Dlaczego MFC kalibrowany N₂ błędnie wskazuje z argonem
Termiczne regulatory przepływu masowego mierzą transport ciepła płynącego gazu – a ten zależy od ciepła właściwego i gęstości. MFC skalibrowany na azot, który reguluje argon, wskazuje więc systematycznie błędnie. Korekta: Q(rzeczywisty) = Q(wskazanie) × GCF(gaz procesowy) / GCF(gaz kalibracyjny).
Przykład: instalacja napylania
MFC kalibrowany N₂ ustawiony na 100 sccm, ale płynie argon (GCF 1,39). Rzeczywisty przepływ: 100 × 1,39 = 139 sccm argonu – prawie 40 % więcej niż wskazano! Odwrotnie: dla dokładnie 100 sccm argonu nastawa musi wynosić 100 / 1,39 = 72 sccm.
Najważniejsze współczynniki (względem N₂)
Gazy jednoatomowe wysoko: argon 1,39, hel 1,45. Dwuatomowe blisko 1: O₂ 0,993, CO 1,00, H₂ 1,01. Wieloatomowe znacznie niżej: CO₂ 0,70, CH₄ 0,72 – a ciężkie cząsteczki jak SF₆ (0,26) na dole.
Ograniczenia
Wartości GCF to przybliżenia zakresu liniowego, nieco różne u poszczególnych producentów. Do procesów krytycznych: użyć tabeli producenta lub skalibrować MFC na gaz procesowy.
