Gascorrectie voor thermische massflowcontrollers: bereken de werkelijke flow of het benodigde setpoint via de gasconversiefactor (GCF) voor 14 gassen.
Vul de onderstaande velden in en klik op "Berekenen".
Waarom een N₂-gekalibreerde MFC verkeerd aanwijst met argon
Thermische massflowcontrollers meten het warmtetransport van het stromende gas – dat afhangt van warmtecapaciteit en dichtheid. Een op stikstof gekalibreerde MFC die argon regelt, wijst dus systematisch verkeerd aan. De correctie: Q(werkelijk) = Q(aanwijzing) × GCF(procesgas) / GCF(kalibratiegas).
Voorbeeld: sputterinstallatie
Een N₂-gekalibreerde MFC staat op 100 sccm maar er stroomt argon (GCF 1,39). Werkelijke flow: 100 × 1,39 = 139 sccm argon – bijna 40 % meer dan aangewezen! Omgekeerd: voor exact 100 sccm argon moet het setpoint op 100 / 1,39 = 72 sccm.
Belangrijkste factoren (relatief t.o.v. N₂)
Eenatomige gassen hoog: argon 1,39, helium 1,45. Twee-atomig dicht bij 1: O₂ 0,993, CO 1,00, H₂ 1,01. Meeratomig ver eronder: CO₂ 0,70, CH₄ 0,72 – en zware moleculen als SF₆ (0,26) onderaan.
Grenzen
GCF-waarden zijn benaderingen voor het lineaire bereik en verschillen licht per fabrikant. Voor kritische processen: fabrikantentabel gebruiken of de MFC op het procesgas laten kalibreren.
