Correction de gaz pour régulateurs de débit massique thermiques : calculez le débit réel ou la consigne nécessaire via le facteur de conversion (GCF) pour 14 gaz.
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Pourquoi un MFC étalonné N₂ affiche faux avec l'argon
Les régulateurs de débit massique thermiques mesurent le transport de chaleur du gaz – qui dépend de la capacité thermique et de la densité. Un MFC étalonné à l'azote régulant de l'argon affiche donc systématiquement faux. La correction : Q(réel) = Q(affiché) × GCF(gaz de procédé) / GCF(gaz d'étalonnage).
Exemple : bâti de pulvérisation
Un MFC étalonné N₂ est réglé à 100 sccm mais débite de l'argon (GCF 1,39). Débit réel : 100 × 1,39 = 139 sccm d'argon – près de 40 % de plus qu'affiché ! Inversement : pour exactement 100 sccm d'argon, régler la consigne à 100 / 1,39 = 72 sccm.
Facteurs principaux (relatifs à N₂)
Gaz monoatomiques élevés : argon 1,39, hélium 1,45. Diatomiques proches de 1 : O₂ 0,993, CO 1,00, H₂ 1,01. Polyatomiques bien en dessous : CO₂ 0,70, CH₄ 0,72 – et les molécules lourdes comme SF₆ (0,26) tout en bas.
Limites
Les GCF sont des approximations du domaine linéaire et varient légèrement selon les fabricants. Pour les procédés exigeants : utiliser la table du fabricant ou faire étalonner le MFC sur le gaz de procédé.
