Correzione gas per regolatori di flusso massico termici: calcola il flusso reale o il setpoint necessario tramite il fattore di conversione (GCF) per 14 gas.
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Perché un MFC tarato su N₂ sbaglia con l'argon
I regolatori di flusso massico termici misurano il trasporto di calore del gas – che dipende dalla capacità termica e dalla densità. Un MFC tarato su azoto che regola argon indica quindi sistematicamente un valore errato. La correzione: Q(reale) = Q(letto) × GCF(gas di processo) / GCF(gas di taratura).
Esempio: impianto di sputtering
Un MFC tarato N₂ è impostato a 100 sccm ma scorre argon (GCF 1,39). Flusso reale: 100 × 1,39 = 139 sccm di argon – quasi il 40 % in più del visualizzato! Viceversa: per esattamente 100 sccm di argon, impostare il setpoint a 100 / 1,39 = 72 sccm.
Fattori principali (relativi a N₂)
Gas monoatomici alti: argon 1,39, elio 1,45. Biatomici vicini a 1: O₂ 0,993, CO 1,00, H₂ 1,01. Poliatomici ben sotto: CO₂ 0,70, CH₄ 0,72 – e molecole pesanti come SF₆ (0,26) in fondo.
Limiti
I GCF sono approssimazioni del campo lineare e variano leggermente tra i produttori. Per processi critici: usare la tabella del produttore o far tarare l'MFC sul gas di processo.
